マテリアル生産事業

時代をつくる 装置をつくる

最新の製造技術による万全の供給体制で、未来の薄膜材料をリードします。

1982年、当時シリコンアイランドと呼ばれた九州で、半導体デバイス用のスパッタリングターゲットの製造を開始。以来、真空溶解法などの最新の製造技術を使ったアルミ合金材料や、薄型テレビに代表されるフラットパネルディスプレイ用の透明導電膜などの成膜材料を、原材料からボンディングまで、一貫製造で供給できる体制を構築しています。

薄膜形成の不可欠技術─スパッタ法

薄膜をつくりだす代表的な方法がスパッタリング(スパッタ法)で、その技術は蛍光灯の両端が黒くなる現象を応用したものです。はじき飛ばすことを英語で“スパッタ”ということからその名前がつけられました。

スパッタはコチラ

不純物やガス成分の少ない高純度のターゲット材を、
真空技術を利用した独自のプロセスで製造しています。

ターゲット材は、マシニングセンターなどを用い精密加工を行っています。
またターゲット材とバッキングプレート(冷却板)をロー材を使って
ボンディング(接合)しています。

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ターゲット材の組成・純度分析などを行うための高度な分析・検査装置を保有し、
万全の品質管理体制をとっています。