真空ポンプ

真空ポンプ,真空の3種の神器

真空ポンプとは?どういう意味ですか?

真空もなんとなくわかった。ポンプもなんとなくイメージできる。だけど真空ポンプっていう言葉が掛け合わさると、「?」となりませんか?
でも冷静に考えるとイメージできます。
一般的なポンプは、液体・気体の圧力を高めたり、減圧したりして、移動させるものです。
なので、真空ポンプはチャンバー内の大気を外部に送り出す働きをします。

真空ポンプは、
特定の環境から気体を排出して
真空という環境を作り出すための
ポンプです。

吸気口
気体の吸気口で、チャンバー側に接続されます。
排気口
チャンバー等から排出された気体は、排気口より排出されます。
ポンプ
気体の排気動作を行う大元の部分。
ポンプも多種あるので、排気方法、排気性能等に応じ使い分けが必要です。
ポンプによっては大気圧以下でないと作動しないものもあり、その際は補助ポンプ+メインポンプの組合せで排気します。

どの程度の真空度を必要とするのか、
排気する気体の種類、排気量、
使用材料などによって、
必要となるポンプの性能が異なります。

真空状態に合わせて、求められるポンプが異なります。組合せも変わりますので、用途に合ったポンプを選ぶことが重要です。次に8つの真空ポンプを紹介します。(現在、準備中です)