ご希望の加工部品を作ります

ご希望に合わせて加工部品の設計・製作をいたします。

チャンバー・フランジ等真空に関わる部品、
また大気や加圧等真空用途以外の部品も加工を承ります。

加工部品の設計・製作実例

実際の装置に使用した真空機器(アッセンブリー・ユニット)の一例をご紹介。
動画でご覧下さい。

  • 搬送室チャンバー

  • スペースチャンバー一部

  • ステンレスチャンバー

    ステンレスチャンバー

各種材料、構造、表面処理等、ご要望に応じて設計・製作いたします。

  • 真空フランジ(VFなど)

    配管と配管をつなぐ為に必要な溶接フランジです。真空の各種シール(Oリング/メタルシール)に対応したフランジを規格内、規格外サイズ製作を行います。

  • KFフランジ

    配管製作に特化したコストダウン用フランジです。ご要望に応じて設計・製作いたします。

  • バッキングプレート

    スパッタリングターゲット材料を本品に貼り付け使用する冶具です。お客様のご要望に応じて制作します。

  • 基盤ホルダー

    各種材料、基板サイズ、表面処理等、ご要望に応じて設計・製作いたします。

  • 車掲用部品

    アルミ材の削り出し加工部品です。ご要望に応じて設計・製作いたします。

ご希望に合わせて加工部品の設計・製作をいたします。

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