研究開発実験装置(QAM)

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QAMできること

QAM-4 紹介動画公開中!,Comapact Assemble Matrix - 4

アルバック九州では、真空技術を結集させた、研究開発実験装置「QAM」シリーズを製作しています。
文章だけでは伝えきれない、QAMの機能や魅力を視覚的にまとめた動画を作成しました。
スパッタリングについて、QAMの動作について、ぜひ御覧ください。
ご興味を持たれた方、ご不明な点が有る方はお問い合わせ下さい。

QAM,研究開発実験装置,Comapact Assemble Matrix

“As you like”,おもいのままに!

QAMはパフォーマンスを追求し続けています。

最短で目標真空度に到達!!

・所定圧力に入らなく、リークテストをしたら
 リークしていた事がありませんか?

・超高真空を実現する為に時間をかけ、
 試行錯誤したことはありませんか?
徹底的な検証から最適条件を導き出した
レシピが、このアルバック九州のQAMには
あります。このレシピに従いながら
超高真空をつくることができます。

適切な温度管理!!

・設定温度に対して
 オーバーシュートすることがありませんか?

・設定温度までの昇温時間が長いと
 感じたことはありませんか?


・設定温度に達した後に、
 温度が安定しないことがありませんか?

・制御用熱電対が安定しているのに、実際の基板
 温度が安定しないような挙動はありませんか?
徹底的な検証から最適な条件を導き出し、
ソフト情報としてご提供いたします。

QAM,成膜管理を実現!!

・「放電が不安定」ということがわからないままで、成膜を継続したことはありませんか?

・成膜積算時間が管理されておらず、
 バッキングプレートまでスパッタされたことはありませんか?
管理ソフトを装備しています。

見える化!!

・手動運転でのミスで、装置を破損、
 故障させたことはありませんか?

・手動操作のため、
  装置につきっきりになり、
  他の作業が出来なかったことは
 ありませんか?

・アラームが出ているのに、何が異常か
 わからないことはありませんでしたか?

・装置の運転状況を遠隔で見たいと
 思ったことはありませんか?
全自動制御方式を採用し、異常が発生した
場合に状態を表示する機能を有しています。
また、装置状況(プロセス状況、アラーム等)を
遠隔でリアルタイムに確認できるソフトを
オプションでご用意しております。
自動制御の様子を動画でご紹介
遠隔モニタリングシステム(オプション)

遠隔モニタリングシステム(オプション)

QAMという装置は、「使いやすい」を実現した、
アルバック九州のオリジナル、こだわりの製品です。

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これまで培った
アルバックの豊富な成膜技術と
経験をもとに、
幅広く対応できる 装置です。

多様性・拡張性
持たせながら、
小型化が実現できました!
用途に合わせて、
プロセスチャンバー・排気系を
自由に組み合わせ可能です。

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研究開発実験装置 導入事例

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